THRU-Scan采用Sonoscan的C-SAM®系列声学显微镜,大大提高了透射传输成像效果。

反射模式声学显微镜(最常用模式)仅能显示单次取样的已定义深度,但THRU-Scan经过一次扫描便能显示整体厚度。例如,一个塑封微电路有五层。反射模式成像通常会选取显示其中的一、两个内部界面,检查它们是否存在异常和缺陷。

但THRU-Scan可显示整个零部件的总厚度,包括五层和四个界面,同时揭示任何深度的所有缺陷或异常现象。THRU-Scan自动提供一种迅速的非侵入式内部缺陷检测方法。它通常可与反射模式成像工具并用,同步验证缺陷所在的x和y轴位置,并显示其具体深度。

HiResHiRes代THRU-Sca与前代产品不同之处在于,在不影响渗透性能的情况下,可生成高分辩率的声像。刀口更锋利,对比更明显,可对更薄的样品进行成像。